수행과제 목록
나노소재 기반 산업생활환경 실내 공기 유해인자 저감 핵심 부품 및 제품개발
- 과제번호
- 20016809
- 수행기간
- 21.4.1. ~ 25.12.31
- 과제 개요
- 참여 기관
[최종목표]
ㅇ 반도체/디스플레이 공정에서 sub-ppm수준의 초저농도 유해 VOC제거를 위한 나노흡착소재 기반 고효율 농축기 기술개발
[1단계 1차년도 목표]
o PGMEA 기반 농축처리기술 설계자료 조사 및 분석
o 카트리지 기술적용 대면적 초경량구조 탈부착식 섬유필터 구조설계 및 유동해석
o 카본섬유 PGMEA농축처리 성능실험 Filter제작/성능실험분석장비구축
o 초저농도흡착·선별흡착·저온탈착 특성을 갖는 다기능성 다공성 흡착소재 검토/개발 및 VOC 제거 성능 평가 기술 개발
o 내환경성 다공성 분말형 흡착소재의 표면 상태에 따른 흡/탈착 성능간의 상관관계 연구
o 고비표면적 다기능성 다공성 분말형 흡착소재의 VOC 제거 효율 및 탈착 온도 평가 조건 및 시스템 구축
o 대면적 제조용 RTR 전기방사용 multi-nozzle 개발 및 방사조건 설정
o 안전성 고려한 전기방사 환경시스템 설계
[1단계 2차년도 목표]
o PGMEA 선별 농축처리 Filter 성능평가장치 구조설계 및 장치제작
o 농축처리시스템 Filter 평가장치 Mass/Heating Balance Data 분석
o 카본섬유 기반 PGMEA농축처리Filter 성능평가장치 최적운전조건 도출
o 고비표면적 다기능성 다공성 분말형 흡착소재의 PGMEA 흡/탈착 성능 고도화 및 평가 기술 개발
o 고비표면적 다기능성 다공성 분말형 흡착소재의 PGMEA와 BTX계 VOC 혼합 가스 선별적 흡착 메커니즘 검토 및 평가시스템 개발
o 나노 혼성체 기반 다기능성 다공성 세라믹 나노흡착소재 제조를위한 나노섬유 제조공정 검토
o 대면적 제조를 위한 RTR 전기방사 장치 제작 및 방사조건 최적화 기술개발 (multi-nozzle 폭 30cm, 공정설비폭 50cm)
o 안전성 고려한 전기방사 환경시스템 최적운전 조건 설정
[2단계 1차년도 목표]
o PGMEA 선별 농축처리시스템 Pilot pant 설계 및 제작
o 카본섬유기반 농축처리시스템 Pilot pant 성능평가/최적운전조건 도출
o 세라믹 나노섬유 생산기반시설 (식각공정/클린룸) 설계
o 나노혼성체 기반 다기능성 다공성 세라믹 나노흡착소재 제조를 위한 다공성 세라믹 나노섬유 제조 공정 최적화
o 나노혼성체 기반의 다기능성 다공성 세라믹 나노흡착소재의 흡탈착 성능 극대화를 위한 표면 식각 공정 개발
o 다기능성 다공성 세라믹 나노흡착소재에 적합한 VOC 제거 효율 평가 시스템 개발
o 대량생산을 고려한 RTR전기방사용 노즐 시스템 및 흡착성능 향상을 위한 두꺼운 웹 제작 시스템 구축(폭 50cm)
o 안정성 고려한 전기방사장비 환경 시스템 구축
[2단계 2차년도 목표]
o 세라믹 나노섬유기반 카트리지경량구조 탈부착식 PGMEA 농축 섬유 필터 설계 및 제작
o 세라믹나노섬유 생산기반시설(식각/클린룸)구축 및 최적운전조건도출
o 세라믹 나노섬유기반 PGMEA 선별농축 처리시스템 Pilot plant 성능 시험 및 최적운전조건 도출
o 나노혼성체 기반 다기능성 다공성 세라믹 나노흡착소재의 고온 안정성 및 내구성 향상을 위한 다양한 substrate 검토
o 다기능성 다공성 세라믹 섬유와 substrate 간 결합력 최적화
o 세라믹섬유 방사량 조절로 다기능성다공성 세라믹나노흡착소재 필터 극저농도 PGMEA 선별흡착특성 극대화/VOC제거 성능평가기술 개발
o 대량생산 고려한 RTR 전기방사용 노즐 시스템 및 흡착성능 향상을 위한 두꺼운 웹 제작 시스템 최적화(폭 50cm)와 장비 제작
o 안정성 고려 전기방사장비 환경 시스템 최적화 장비 제작
[2단계 3차년도 목표]
o 세라믹 나노섬유기반 PGMEA선별농축처리시스템 Pilot plant Field Test (반도체 제조공장(주)포인트엔지니어링)) 및 신뢰성평가
o 세라믹 나노섬유기반 PGMEA 선별농축처리시스템 대용량처리시설 설계 및 판로를 위한 기술인증확보 (NET/성능인증/녹색인증)
o 나노혼성체 기반 세라믹 나노흡착소재 필터의 대면적 제조공정 기술지원
o 나노혼성체 기반의 다기능성 다공성 세라믹 나노흡착소재 필터기반 PGMEA 선별농축처리시스템 평가 기술 최적화
o RTR 전기방사 연속공정 시스템 최적화(50cm)
o 대면적 웹 제조용 전기방사장비(나노웹 폭 50cm) 최적화 점검 및 광폭 nozzle 시스템 적용 검토
o 대량생산(생산량 증대)을 고려한 광폭용 multi-nozzle 및 방사 시스템 (나노웹 폭100cm) 설계(웹 속도 3m/min 이상 기준)