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반도체 패키지 레벨 전자파 차폐를 위한 Ti3AlC2 맥스 및 Ti3C2 맥신 소재 대량생산 기술 개발

과제번호
20020855
수행기간
2022-04-01 ~ 2024-12
  • 과제 개요
  • 참여 기관

[최종목표]

 ㅇ 반도체 패키지 레벨 전자파 차폐를 위한 Ti3AlC2 맥스 및 Ti3C2 맥신 소재 대량생산 기술 개발

[1차년도 목표]

TiO2 기반 저비용 맥스 및 500g 스케일 생산 공정 기술 개발

ㅇ 맥신 유기 리간드 설계, 검토 및 표면 특성 제어 기술 개발

ㅇ 맥신 잉크의 스프레이 코팅 aspect ratio 30% 확보

ㅇ 산화물 원료 활용 맥스 합성 전구체 저온 합성 공정 개발

[2차년도 목표]

ㅇ 저비용 맥스 생산기술 최적화 및 1000g 스케일 생산공정 기술개발

ㅇ 맥신 유기 분산 안정성 및 산화 안정성 향상 기술 개발

ㅇ 맥신 잉크의 스프레이 코팅 aspect ratio 35% 확보

ㅇ 맥스 합성용 고용상 탄화물 전구체 조성 설계 기술 개발

[3차년도 목표]

ㅇ 맥신 전기전도도 최적화 및 1000g 스케일 생산 공정 기술 개발

ㅇ 맥신 다차원 미세구조 제어 기술 개발

ㅇ 맥신 잉크의 스프레이 코팅 및 연속 공정 적용 최적화

ㅇ 맥스 합성용 타이타늄 탄질화물 전구체 제조 공정 개발


[1차년도 개발내용]

 ㅇ 주관연구개발기관: 이노맥신

- 재활용 TiO2 활용 맥스 제조 공정 개발

- 산소 함량 별 맥스 내 Al2O3 및 격자 변형 제어 기술 개발

- 맥스 대량 합성을 위한 열처리로 설계

ㅇ 공동연구개발기관: 성균관대학교

- 다양한 유기리간드를 기반으로 맥신 리간드 설계

- 맥신 유기 분산 안정성 확보 방안 설계

ㅇ 공동연구개발기관: 엔트리움()

- 맥신 필러의 표면과 유기용제 특성 매칭

- 스프레이 코팅 공정 적합성 확보를 위한 레올로지 유효인자 도출

ㅇ 공동연구개발기관: 전북대학교

- 타이타늄 산화물 미세화 공정 최적화

 

[2차년도 개발내용]

 ㅇ 주관연구개발기관: 이노맥신

- 맥스 합성 열처리 공정 최적화 및 내부 산소 함량 제어를 통한 수율 최적화

- 맥스 합성의 혼합 조성 및 열처리 공정 제어 기술 개발

- 맥스 대량 합성 열처리로 구축 및 set-up

ㅇ 공동연구개발기관: 성균관대학교

- 카테콜 기반의 유기 리간드 설계 및 리간드화 기술 개발

- 고농도 맥신 유기 분산체 제고 기술 개발

ㅇ 공동연구개발기관: 엔트리움()

- 스프레이 코팅 flow rate를 고려한 맥신 필러의 표면개질 테스트

- 코팅 특성과 부착력 4B 및 신뢰성 최적화를 위한 바인더 조성 설계

ㅇ 공동연구개발기관: 전북대학교

- 열역학을 활용한 온도별 고용상 안정 조성 계산


[3차년도 개발내용]

ㅇ 주관연구개발기관: 이노맥신

- TiO2 기반 저비용 맥스의 불순물 및 결함 제어 공정 최적화

- 전기 전도도 및 맥신 시트 대면적화 및 결함 제어 공정 최적화

- 내화학성 에칭 반응기 및 고액 분리 장치 구축

ㅇ 공동연구개발기관: 성균관대학교

- 다양한 알칼리를 도입한 DOPA 유기 리간드 설계 기술

- 맥신의 분산성, 산화 안정성 평가 기술

ㅇ 공동연구개발기관: 엔트리움()

- 노즐막힘 등 공정변수 적합성 확보 및 다양한 기재 적용성 확보

- 전극부 미도포, Back spill 등 도포 품질 불량 제어를 위한 최적 조성 확보

ㅇ 공동연구개발기관: 전북대학교

- 온도 및 C/N 비율에 따른 타이타늄 탄질화물 열역학 데이터 확보